测量平台测量平板的平面度如何测量，厂家推荐

用光学仪器测量大型测量平台平台测量平板平面度的测量方法，将平面扫描仪架在被测平台上，目标I、目标II、目标III围绕测微准直望远镜放置，且平行于支脚AC和BC的连线，把光学头转向目标I，并把望远镜调焦到目标I上，调整支脚B的调整螺钉，使望远镜十字线初步对准目标I上条纹。再转向目标III调整扫描仪的测微鼓轮，使目标III接近望远镜十字线。光学头转向目标II，调整支脚A的调整螺钉，使望远镜十字线与目标II对中，经反复调整支脚高度和测微鼓轮，使望远镜十字线与三目标_对中，建立了基准面，将目标IV放在要测量位置，用平面扫描仪的光学测微器读出该位置对基准面的偏差。适合大型检验平台的平面度测量，通用性强、速度快、测量精度高。 　

1、测量平台平面度测量方法，其特征包括下列步骤： A、将平面扫描仪架设在被测量的平台（6）上，目标I、目标II、目标 III围绕测微准直望远镜（2）放置，而且目标I和目标III平行于支脚AC的 连线，目标II平行于支脚BC的连线，将光学头（5）转向目标I，并把测微 准直望远镜（2）调焦到目标I上，然后通过调整支脚B的调整螺钉，使测 微准直望远镜（2）十字线初步地对准目标I上目标带（9）的条纹图案； B、将光学头（5）转向目标III，并检查目标III是否相当接近于测微准 直望远镜（2）的十字线，如果相差较远，则转动平面扫描仪的测微鼓轮（8）， 使目标III接近于测微准直望远镜（2）的十字线，然后再把光学头（5）转向 目标I，重复进行对目标I的A步骤所述调整； C、将光学头（5）转向目标II，把测微准直望远镜（2）调焦到目标II 上，通过调整支脚A的调整螺钉，使测微准直望远镜（2）十字线与目标II 对中； D、转动光学头（5），重新瞄准目标I，然后精调支脚B的调整螺钉， 使所选定宽度的目标带（9）与测微准直望远镜（2）十字线对中； E、再把光学头（5）转向目标III，把测微准直望远镜（2）调焦到目标 III上，然后转动平面扫描仪的测微鼓轮（8），使所选定宽度的目标带（9） 与测微准直望远镜（2）的十字线对中，得出光学测微器（4）这次变化量， 然后把测微鼓轮（8）又调回它所转过刻度值的一半，_后重新调整支脚B 的调整螺钉，使目标III_地与测微准直望远镜的十字线对中； F、反复瞄准目标I和III，调整平面扫描仪的测微转轮（8）和支脚B的 调整螺钉，直到二目标都与测微准直望远镜（2）的十字线_对中为止。 然后锁紧B支脚的调整螺钉； G、瞄准并调焦于目标II上，通过调整支脚A的调整螺钉使测微准直望 远镜（2）的十字线与目标II_对中，并锁紧支脚A的调整螺钉； H、重新瞄准观察三目标，检查三者是否均与测微准直望远镜（2）的十 字线对中，如果均对中，则完成了基准面的建立。 I、当基准面建立后，_可进行平台平面度的测量了，此时把目标IV放在 要测量的位置上，然后用平面扫描仪的光学测微器（4）读出该位置对基准 面的偏差； J、按步骤I在需要测量的位置上逐点进行测量，这样平台（6）的平面 度_可以被测量出，所测对基准面的偏差数据标注在测点分布图上，由分布 图上找出_偏差值和_小偏差值，经计算得出平面度，即： Δ＝_偏差值-_小偏差值。 　

测量平台测量平板平面度误差的测量：

平面度误差的测量方法很多，常用的有如下所列的方法： 

①光隙法：将被测直线和测量基线间形成的光隙，与标准光隙比较，测量不同方向的若干个截面上的直线度误差，取其中_值，作为平面度误差近似值的方法。该方法适用于磨削或研磨加工的小平面的测量平板平面度误差测量。 

②指示器法：将被测零件支撑在测量平板上，铸铁平板工作面为测量基准，按_的方式布点，如图3所示，用指示器对被测面上各点进行测量并记录所测数据，然后，按_的方法评定其误差值。该方法适用于中、小平面的铸铁平板平面度误差测量。 

③光轴法：以几何光轴建立测量基面，测出被测面相对测量基面的偏离量，进而评定测量平台平面度误差值的方法，该方法适用于一般精度大平面的测量平台平面度误差测量。 

④干涉法：利用光波干涉原理，根据干涉条纹形状、条数，来确定平面度误差值的方法，该方法适用于精研表面的研磨平板平面度误差测量。 

⑤三坐标测量机：三坐标测量机是综合利用精密机械、微电子、光栅和激光干涉仪等_技术的测量仪器，其原理是在三个相互垂直的方向上，有导向机构、测长元件、数显装置，有一个能够放置工件的工作台，测头可以以手动或机动方式，轻快地移动到被测点上，由读数设备和数显装置，把被测点的坐标值显示出来的一种测量设备[4]。 

除上面介绍的几种方法外，还有液面法、自准直仪法等，测量平台测量平板生产厂家常采用光学合像水平仪测定测量平板的平面度误差。

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